基于SEM/FIB改裝的NPGS V9.1電子束曝光系統

　　1)NPGS以既有的SEM、STEM或FIB等為基礎，外加電子束控制系統，透過(guò)電腦界面控制電鏡中電子束的矢量掃描，以直接刻寫(xiě)圖形。

　　2)NPGS系統兼具原SEM的觀(guān)測功能。不影響SEM本身功能。

　　3)功能強大、操作簡(jiǎn)便、使用靈活。

　　4)NPGS和當今主流的SEM或FIB等均可配套。

　　NPGS V9.0是一個(gè)可以控制掃描電鏡電子束的軟件程序。基于電鏡的電子束曝光簡(jiǎn)單分為兩部分：刻寫(xiě)設計和圖形運行。刻寫(xiě)設計是通過(guò)NPGS隨機提供的DesignCAD程序來(lái)做。此CAD程序已經(jīng)過(guò)修改，增加了用于電子束曝光的命令。圖形運行包括設定參數，用于NPGS計算圖形上每個(gè)點(diǎn)的位置以及曝光時(shí)間。

　　NPGS硬件板卡：定制的微影板卡是基于一個(gè)計算機工作站內部高速PCIe插槽安裝的。主要特點(diǎn)是：

　　1. 采用16位高速數模轉換輸出，X、Y雙通道同時(shí)輸出，同步掃描頻率5 MHz，兼容6MHz，電子束駐留時(shí)間最小增量0.5納秒，且所有頻率下均能達到這個(gè)分辨率。

　　2. 刻寫(xiě)掃描方式：矢量掃描方式和位圖掃描方式。

　　3. 集成的電子束閘控制輸出。

　　4. 圖像獲取采用集成的16位模數轉換輸入。

　　5. 基于PCIe插槽，安裝方便，運行可靠。

　　電子束阻斷器(束閘)：電場(chǎng)型高速束閘。NPGS系統也支持無(wú)束閘運行。

　　皮可安培計：基于SEM的電子束曝光系統需要一個(gè)皮安計，它可精確讀出轟擊樣品的電子束束流。通常，需要從電鏡載物臺外接一個(gè)皮安計與樣品電流輸出相連。

　　電鏡束流：NPGS能可選連接控制法拉第杯和/或從皮可安培計讀數，但大多數用戶(hù)會(huì )采用手動(dòng)控制的法拉第杯和皮可安培計。

　　電鏡參數及電動(dòng)臺控制：免費提供幾款通用的電鏡數字驅動(dòng)程序及載物臺驅動(dòng)程序。如果有串口通訊協(xié)議，本系統支持任何外部控制。