遠程等離子清潔儀

用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統的遠程等離子清潔儀。遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會(huì )擴散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應，反應產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠程等離子清潔儀可同時(shí)清潔真空系統和樣品！

遠程等離子清潔儀系列具有三種型號：

1）EM-KLEEN 一款智能設計、功能強大的下游式等離子清潔儀。

2）SEMI-KLEEN quartz是為滿(mǎn)足半導體行業(yè)的苛刻清潔要求而設計

的解決方案。

3）SEMI-KLEEN sapphire用于半導體行業(yè)的去污清潔，且支持耐

腐蝕性氣體等離子應用。

儀器特點(diǎn)：

• 快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。

不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

• 低等離子偏壓設計減少離子濺射和顆粒生成。結合自有專(zhuān)用多級

氣體過(guò)濾技術(shù)，SEMI-KLEEN能夠滿(mǎn)足用戶(hù)苛刻的顆粒污染清除要求

• 可選藍寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應用

• 特有的等離子強度傳感器可實(shí)時(shí)監測等離子狀態(tài)，用戶(hù)對等離子狀態(tài)一目了然

• 基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器，無(wú)需手動(dòng)調節針閥

• 直觀(guān)的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案

• 擁有智能安全操作模式和專(zhuān)家控制模式；SmartSchedule^TM定時(shí)裝置，通過(guò)檢測樣品裝載次數或時(shí)間間隔來(lái)定時(shí)清潔系統

• 低電磁干擾設計，安靜的待機模式

推薦應用：

•  FE-SEM、FIB和TEM的原位樣品清潔

•  適用于半導體設備，如CD-SEM, EBR, EBI, EUVL等

•  高真空室清潔，去除碳氫化合物和氟碳污染物

•  減少特高真空(EHV)和特高真空(UHV)泵的停機時(shí)間

•  適用于XPS、SIMS、AES和原子探針的腔室和樣品清潔

•  適用于ALD和其它半導體加工設備的腔室和樣品清潔

PIE Scientific研發(fā)的SmartClean™ 技術(shù)結合了核研究

和半導體行業(yè)先進(jìn)的等離子體放電技術(shù)。EM-KLEEN

和SEMI-KLEEN等離子清潔儀比前幾代等離子體清潔儀

先進(jìn)得多。我們的等離子清潔儀可以在任何技術(shù)指標上

更勝一籌；此外，許多獨特的功能只是在我們的儀器

產(chǎn)品上才擁有。

我們還提供其它系列樣品清潔、樣品桿清潔及存儲等應

用的儀器，如您需要，請參考Tergeo系列、

Multipurpose Chamber和TEM holder storage。